ISO 14644

ISO 14644

ISO 14644 표준은 미국 연방 표준 209E 클린룸 및 클린존의 대기 입자 청결도 등급에서 처음 형성되었다.클린룸 분류 및 테스트를 위한 단일 표준이 필요하다는 것은 오랫동안 느껴져 왔다.ANSI와 IEST가 ISO에 새로운 표준을 청원한 , ISO 14644의 첫 번째 문서인 ISO 14644-1이 [1]1999년에 발행되었습니다.

2000년에는 ISO 14644-2가 발표되어 FED-STD-209E가 취소되기 시작했다.2001년 11월 29일 이 문서는 취소되었고 ISO 14644-1ISO 14644-2[2]대체되었습니다.

현재 ISO 14644는
  • ISO 14644-1: 공기청결도[3] 분류
  • ISO/DIS 14644-1.2(2014):입자[4] 농도별 공기청정도 분류
  • ISO 14644-2: ISO 14644-1에[3] 대한 지속적인 컴플라이언스를 증명하기 위한 테스트 및 감시 사양
  • ISO/DIS 14644-2.2 (2014):입자[5] 농도에 따른 공기청정과 관련된 클린룸 성능의 증거를 제공하는 모니터링
  • ISO 14644-3: 테스트[3] 방법
  • ISO 14644-4: 설계, 시공 및 시작[3]
  • ISO 14644-5: 운용[3]
  • ISO 14644-6: 어휘[3]
  • ISO 14644-7: 분리 장치(클린 에어 후드, 글로브 박스, 아이솔레이터 및 미니[3] 기기)
  • ISO 14644-8: 대기 분자 오염[3] 분류
  • ISO 14644-9: 표면 입자[3] 청결도 분류
  • ISO 14644-10: 화학적 농도에 따른 표면 청결도 분류
  • ISO 14644-12: 나노크기의 입자 농도에 따른 공기청정도 분류
  • ISO 14644-13: 입자 및 화학 분류 측면에서 정의된 청결 수준을 달성하기 위한 표면 청소
  • ISO 14644-14: 에어본 입자 농도에 의한 장비 사용에 대한 적합성 평가

제1부: 공기청정도의 분류

ISO 14644-1은 청정실 및 관련 제어 환경의 공기 청정도 분류를 다룬다.이 표준에 따른 분류는 공기 중 [6]미립자 농도의 관점에서만 지정 및 수행된다.이 문서는 미국 국가 표준으로 제출되었으며 FED-STD-209E[6]취소에 따라 미국에서 ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999로 채택되었습니다.

파트 2: ISO 14644-1에 대한 지속적인 준수를 증명하기 위한 테스트 및 모니터링 사양

파트 2는 대기 중 입자 청결도의 지정된 분류에 대한 ISO 14644-1의 지속적인 준수를 증명하기 위해 청정실 또는 청정 구역의 주기적 시험 요건을 명시한다.또한 청정실 또는 청정 구역(설치)의 모니터링 요건을 명시하여 공기 중의 입자 [7]청결에 대한 지정된 분류에 대한 ISO 14644-1의 지속적인 준수 증거를 제공한다.그것은 FED-STD-209E의 취소로 국제 표준이 되었다.미국에서는 2000년에 ANSI/IEST/ISO 14644-2:[7]2000으로 채택되었다.

파트 3: 테스트 방법

이 파트는 대기 중 입자 청결도의 지정된 분류와 클린룸 및 클린존의 성능 특성을 위한 시험 방법을 명시한다.이러한 테스트 방법은 단방향 흐름과 비단방향 [8]흐름이라는2가지 타입의 클린룸과 클린존에 대해 문서에서 지정되어 있습니다.

이 고도로 참조된 문서의 가장 중요한 목표는 클린룸의 측정과 평가에 대한 국제적인 공통 기반을 제공하는 것이며, 동시에 새로운 [8]기술의 도입을 막는 것이 아니다.

제4부: 설계, 시공 및 스타트업

본 파트는 클린룸 및 클린 에어 장치의 설계 및 시공 요건과 시동 및 자격 요건을 명시하지만, 요건을 충족하기 위한 특정 기술적 또는 계약적 수단을 규정하지는 않는다.이 문서는 클린룸 [9]설치 구매자, 공급업체설계자대상으로 합니다.그것은 2001년에 [9]미국 국가 표준으로 제출되었다.

파트 5: 운용

ISO 14644-5는 클린룸 및 관련 제어 환경의 운영 및 유지보수를 위한 기본 요건을 제공합니다.이 표준은 용도에 관계없이 모든 클린룸 운영에 기본적인 요건을 다룬다.토픽은 다음과 같습니다.[10]

  • 필요한[10] 운영 체제
  • 적절한 클린룸[10] 의류 선택 및 사용
  • 인력 및 활동의[10] 훈련 및 모니터링
  • 장비의[10] 설치 및 사용
  • 클린룸에서[10] 사용하는 재료의 요건
  • 클린룸 환경을 설계기준에 [10]따른 깨끗하고 사용가능한 상태로 유지

이 부분은 2004년에 국제 표준으로 발행되었다.이 문서는 미국 [10]국가 표준으로 제출되었으며 미국에서는 ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004로 채택되었습니다.

제6부: 어휘

이 파트는 모든 오염 관리 전문가에게 중요한 문서입니다.이 문서에서는 ISO 14644 및 ISO 14698의 모든 용어와 정의에 대해 설명합니다.2008년 3월에 이 ISO 표준은 최근 미국 국가 [11]표준이 되었습니다.

파트 7: 분리 장치(클린 에어 후드, 글로브 박스, 아이솔레이터 및 미니 기기)

ISO 14644의 이 파트는 파트 4와 5에서 설명한 바와 같이 클린룸과 다른 측면에서 분리 장치의 설계, 시공, 설치, 시험 및 승인을 위한 최소 요건을 명시한다.개별 디바이스는 오픈 시스템에서 클로즈드 [12]시스템까지 다양합니다.

제한사항은 다음과 같습니다.

  • 애플리케이션 고유의 [12]요건은 다루어지지 않습니다.
  • 사용자 요건은 고객과 [12]공급업체가 합의한 것입니다.
  • 개별 디바이스 설치에서 수용되는 특정 프로세스는 [12]지정되지 않았습니다.
  • 화재, 안전 및 기타 규제 문제는 구체적으로 고려되지 않으며, 적절한 국가 및 지역 요건이 [12]존중되어야 한다.
  • 풀 수트는 이 [12]표준의 범위에 포함되지 않습니다.

이 부분은 2004년에 국제 표준으로 발행되었다.이 문서는 미국 국가 표준으로 제출되었으며 ANSI/IEST/ISO 14644-7:[12]2004로 채택되었습니다.

제8부: 공기 중의 분자 오염 분류

ISO 14644의 이 파트는 특정 화학물질(개별, 그룹 또는 범주)의 공기 중 농도와 관련하여 클린룸 및 관련 제어 환경의 공기 중 분자 오염(AMC) 분류를 다루고, 시험 방법, 분석 및 시간 가중 인자를 특정 환경 내에 포함하는 프로토콜을 제공한다.분류용 이온.[13]

이 문서는 2006년에 표준이 되었습니다.ISO 기술위원회 209 IEST [13]사무국이 개발하였다.

제9부: 표면 입자 청결도 분류

이 ISO 문서에서는 클린룸의 고체 표면에서의 입자 오염 수준 분류 및 관련 제어 환경 애플리케이션에 대해 설명합니다.시험 및 측정 방법에 대한 권고사항과 표면 특성에 대한 정보가 유용한 [14]부록에 제시되어 있다.

「 」를 참조해 주세요.

  • ISO 14000 - 환경관리 표준이 존재하여 조직이 운용이 환경에 미치는 악영향(대기, 물 또는 토지에 악영향을 미치는 요인)을 최소화하고 적용 가능한 법률 및 규정을 준수할 수 있도록 지원합니다.
  • 클린룸에 적용

레퍼런스

  1. ^ "ISO 14644 History". TSS, Inc. 2007-12-03. Archived from the original on 2007-12-30. Retrieved 2008-01-17.
  2. ^ "FED-STD-209E Cancellation". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  3. ^ a b c d e f g h i "ISO 14644 Standards". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  4. ^ "ISO 14644-1". IEST. 2014-09-23. Retrieved 2014-09-23.
  5. ^ "ISO 14644-2". IEST. 2014-09-23. Retrieved 2014-09-23.
  6. ^ a b "ISO 14644-1 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  7. ^ a b "ISO 14644-2 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  8. ^ a b "ISO 14644-3 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  9. ^ a b "ISO 14644-4 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  10. ^ a b c d e f g h "ISO 14644-5 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  11. ^ "ISO 14644-6 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  12. ^ a b c d e f g "ISO 14644-7 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  13. ^ a b "ISO 14644-8 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.
  14. ^ "ISO 14644-9 Scope". IEST. 2007-12-03. Retrieved 2008-01-17.

외부 링크