티타늄살균제
Titanium disilicide| 이름 | |
|---|---|
| IUPAC 이름 티타늄살균제 | |
| 기타 이름 티타늄실산제 | |
| 식별자 | |
3D 모델(JSmol) | |
| ECHA InfoCard | 100.031.719  |
| EC 번호 |
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펍켐 CID | |
CompTox 대시보드 (EPA) | |
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| 특성. | |
| 티시2 | |
| 어금질량 | 104.038 g/190 |
| 외관 | 흑정직교 결정체 |
| 밀도 | 4.02 g/cm3 |
| 녹는점 | 1,470 °C(2,680 °F, 1,740 K) |
| 불용성인 | |
| 용해성 | HF에 녹는 |
| 위험 | |
| GHS 라벨 표시: | |
  | |
| 경고 | |
| H228, H315, H319, H335 | |
| P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302+P352, P304+P340, P305+P351+P338, P312, P321, P332+P313, P337+P313, P362, P370+P378, P403+P233, P405, P501 | |
| 관련 화합물 | |
기타 양이온 | 지르코늄 살균제 하프늄산염화살균제 |
달리 명시된 경우를 제외하고, 표준 상태(25°C [77°F], 100 kPa)의 재료에 대한 데이터가 제공된다. | |
 이버라이시  (?) | |
| Infobox 참조 자료 | |
티타늄 이산화효소(TiSi2)는 티타늄과 실리콘의 무기화학 화합물이다.
준비
티타늄 이산화효소는 실리콘과 티타늄 하이드라이드 또는 티타늄 사이의 반응을 통해 얻을 수 있다.[2]
- Ti + 2 Si → TiSi2
또한 알루미늄 분말, 황, 이산화규소, 이산화티타늄이나 이산화티타늄, 이산화티타늄 또는 이산화칼륨의 발화26, 육불화칼륨과 이산화티타늄의 용해 전기분해, 또는 실리콘 테트라클로라이드와 티타늄의 반응에 의해 알루미늄으로 준비할 수도 있다.[2]
또 다른 방법은 티타늄 테트라클로라이드가 실레인, 디클로로실레인 또는 실리콘과 반응하는 것이다.[3]
- TiCl4 + 2 SiH4 → TiSi2 + 4 HCl + 2 H2
- TiCl4 + 2 SiH2Cl2 + 2 H2 → TiSi2 + 8 HCl
- TiCl4 + 3 Si → TiSi2 + SiCl4
사용하다
반도체 산업에는 티타늄 사일화제가 사용된다. 일반적으로 실리콘 및 폴리실리콘 라인 위에 살로제 기술을 사용하여 로컬 트랜지스터 연결부의 시트 저항을 줄인다. 마이크로 전자 산업에서 그것은 일반적으로 C54 단계에서 사용된다.
참조
- ^ Lide, David R. (1998), Handbook of Chemistry and Physics (87 ed.), Boca Raton, Florida: CRC Press, pp. 4–91, ISBN 0-8493-0594-2
- ^ a b Brauer, Georg (1978). Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie, Band II. Baudler, Marianne (3rd ed.). Stuttgart: Enke. p. 1389. ISBN 978-3-432-87813-3. OCLC 310719490.
- ^ Pierson, Hugh O. (1999). Handbook of Chemical Vapor Deposition : Principles, Technology, and Applications (2nd ed.). Norwich, N.Y.: Noyes Publications. p. 331. ISBN 1-59124-030-1. OCLC 49708617.
