니켈 단산화효소
Nickel monosilicide | |
| 식별자 | |
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3D 모델(JSmol) | |
펍켐 CID | |
CompTox 대시보드 (EPA) | |
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| 특성. | |
| 니시 | |
| 어금질량 | 86.778 g/190 |
| 녹는점 | 1,000 °C, 1,832 °F, 1,273[2] K |
자기 감수성(magnetic susibility) | -0.3×10−6 에뮤/g[1] |
| 구조[3] | |
| 정형외과, oP8 | |
| 팽마로62번길 | |
a = 0.519nm, b = 0.333nm, c = 0.5628nm | |
공식 단위(Z) | 4 |
달리 명시된 경우를 제외하고, 표준 상태(25°C [77°F], 100 kPa)의 재료에 대한 데이터가 제공된다. | |
| Infobox 참조 자료 | |
니켈 모노실라제는 니켈과 실리콘으로 이루어진 금속간 화합물이다.다른 니켈 규산염과 마찬가지로 니시도 마이크로 전자공학 분야에서 중요하다.
준비
니켈 모노실라제는 실리콘에 니켈 층을 쌓고 그 후에 아닐링을 함으로써 준비될 수 있다.두께가 4nm 이상인 Ni 필름의 경우 정상 위상 전환은 2502°C에서 NiSi가, 350°C에서는 NiSi가, 약 800°C에서는 NiSi가2 각각 제공한다.[4]초기 Ni 두께가 4nm 미만인 필름의 경우 니켈 단모살균 단계를 건너뛰고 정형외과적 NiSi에서2 상피축 NiSi로2-x 직접 전환되는 것이 관찰된다.[5]
사용하다
NiSi는 마이크로 전자공학 분야에서 중요한 국소 접촉 재료로, 그 중 열 예산 감소, 13–14 μΩ·cm의 저저항성, 대체 화합물에 비해 Si 소비량 감소 등이 있다.[6]
참조
- ^ Shinoda, Daizaburo; Asanabe, Sizuo (1966). "Magnetic Properties of Silicides of Iron Group Transition Elements". Journal of the Physical Society of Japan. 21 (3): 555. Bibcode:1966JPSJ...21..555S. doi:10.1143/JPSJ.21.555.
- ^ Gas, P.; d’Heurle, F. M. (1998). "Diffusion in silicides". In Beke, D. L. (ed.). Landolt-Börnstein - Group III Condensed Matter. Vol. 33A. Springer. pp. 1–38. doi:10.1007/10426818_13. ISBN 3-540-60964-4.
- ^ Wopersnow W, 슈베르트 K. (1976년) Z. 메탈크드, 67, 807–810
- ^ d'Heurle, F. M.; Gas, P. (February 1986). "Kinetics of formation of silicides: A review". Journal of Materials Research. 1 (1): 205–221. Bibcode:1986JMatR...1..205D. doi:10.1557/JMR.1986.0205.
- ^ Wolf, Philipp M.; Pitthan, Eduardo; Zhang, Zhen; Lavoie, Christian; Tran, Tuan T.; Primetzhofer, Daniel (2022-02-21). "Direct Transition from Ultrathin Orthorhombic Dinickel Silicides to Epitaxial Nickel Disilicide Revealed by In Situ Synthesis and Analysis". Small: 2106093. doi:10.1002/smll.202106093. ISSN 1613-6810.
- ^ Lavoie, C.; d’Heurle, F.M.; Detavernier, C.; Cabral, C. (November 2003). "Towards implementation of a nickel silicide process for CMOS technologies". Microelectronic Engineering. 70 (2–4): 144–157. doi:10.1016/S0167-9317(03)00380-0.
