시간 영역 온도 굴절

Time-domain thermoreflectance

시간 영역 온도 굴절률은 물질의 열 특성, 특히전도율을 측정할 수 있는 방법입니다.이 방법은 동일한 부피 재료와 비교할 때 특성이 큰 박막 재료(최대 수백 나노미터 두께)에 가장 많이 적용될 수 있습니다.이 기술의 발상은 일단 물질이 가열되면 표면의 반사율 변화를 이용해 열 특성을 도출할 수 있다는 것입니다.반사율은 시간에 따라 측정되며, 수신된 데이터는 열 특성에 해당하는 계수를 가진 모델과 일치할 수 있습니다.

실험 설정

이 방법은 펄스 레이저로 발생하는 음파의 감시에 기초하고 있습니다.재료를 국소적으로 가열하면 국소적으로 온도가 상승하여 열응력을 유발합니다.국소적인 영역에서 이러한 응력이 축적되면 음향 스트레인 펄스가 발생합니다.계면에서는 펄스가 투과율/반사 상태가 되어 반사파로 계면의 특성을 감시할 수 있다.프로브레이저는 피에조광학효과를 검출함으로써 반사음파의 영향을 검출한다.

변형량은 다음과 같이 광학 레이저 펄스에 관련됩니다.레이저로 인해 국부적으로 온도가 상승합니다.

여기서 R은 샘플 반사율, Q는 광펄스 에너지, C는 비열(단위 부피당), A는 광스팟 영역, θ는 광흡수 길이, z는 샘플 내 거리(Ref A)입니다.이 온도 상승으로 인해 변형률은 필름의 열팽창의 선형 계수와 곱하여 추정할 수 있습니다.일반적으로 음향 펄스의 일반적인 진폭 값은 작으며, 장기 전파의 경우 비선형 효과가 중요해질 수 있다.그러나 온도가 매우 낮지 않은 경우(참조 B) 이러한 짧은 지속 시간 펄스의 전파는 음향 감쇠가 발생합니다.따라서 이 방법은 표면 음파를 이용하는 데 가장 효율적이며, 횡방향 구조물에 대한 이 방법의 조사에 대한 연구가 진행되고 있다.

반사파의 압전광학적 효과를 감지하기 위해서는 음파이동시간과 열흐름 때문에 빠른 모니터링이 필요하다.음파는 1피코초에 수 나노미터로 이동하고, 여기서 열은 [1][2]1초에 약 100나노미터로 흐릅니다.따라서 티타늄 사파이어 등의 레이저(Ti:펄스 폭이 200fs 이하인 Al2O3) 레이저는 인터페이스의 특성을 감시하기 위해 사용됩니다.다른 유형의 레이저에는 Yb:fiber, Yb:tungstate, Er:fiber, Nd:glass 등이 있습니다.2차 고조파 발생을 이용하여 2배 이상의 주파수를 얻을 수 있다.

레이저의 출력은 반파판에 의해 펌프와 프로브 빔으로 분할되고 이어서 편파스플리터가 교차 편파 펌프와 프로브로 연결됩니다.펌프 빔은 음향 광학 또는 전기 광학 변조기에 의해 수 메가헤르츠 단위로 변조되고 렌즈로 샘플에 초점을 맞춥니다.프로브는 광지연 라인으로 향합니다.그런 다음 프로브 빔은 렌즈로 프로브와 같은 시료 부분에 초점을 맞춥니다.펌프와 프로브 모두 스폿 크기가 10 ~ 50 μm입니다.반사된 프로브 빛은 고대역폭 광검출기에 입력됩니다.출력은 펌프를 변조하는 데 사용되는 주파수와 동일한 기준 신호의 록인 앰프로 공급됩니다.록인의 전압 출력은 δR에 비례합니다.이 신호를 광지연 라인이 변경되었을 때 기록함으로써 광프로브 펄스 시간 [3]지연의 함수로서 δR을 측정할 수 있습니다.

모델링 재료

단일 층의 표면 온도

δ(\displaystyle 점 소스에 의해 가열되는 반무한 고체의 주파수 영역 솔루션은 다음 [4]방정식으로 나타낼 수 있습니다.

(r ) x( - r) ( ) g )) { g ( r ) frac { ( \ \ r ) } } 、 2 ( w / ^ { }= ( ) } } ( 1 )

(δ: 고체의 열전도율, D: 고체의 열확산율, r: 방사 좌표)

일반적인 시간 영역 온도 굴절 실험에서는 공칭 레이저 빔이 원통형 대칭을 가지므로 한켈 변환을 사용하여 레이저 강도 분포에 따른 방정식 (1)의 회전 계산을 단순화할 수 있습니다.

(행켈 변환은 반지름 대칭 적분 커널을 가진 2차원 푸리에 변환과 동등한 적분 변환이다.)

여기서 g(r)는 반지름 대칭이며, Eq (1)를 사용한 행켈 변환의 정의에 따라

kr (2)

여기서 사용하는 펌프 및 프로브 빔은 가우스 분포를 가지므로 펌프 및 프로브/ 12}) 반경은 각각 w 입니다.표면은 펌프 레이저 빔에 의해 p p로 가열됩니다.

(3)

서 A A 주파수에서 샘플에 의해 흡수되는 열의 진폭입니다(\r의 행켈 변환(\ p입니다.

( ) x( - k /2) { P ( k ) =( - \^{_ { / 2)} . ( 4 )

다음으로 에서의 온도 진동 분포는 G G P P 역행켈 변환입니다.

( )= 0( ) ( k ) 0 ( ) k k dk ( r ) 2 \ \ _ { 0 }^{\} ( k ) ( k ) ( )

표면 온도는 T 따른 R R의 변화로 측정되며, 이 변화는 프로브 레이저 빔의 반사 강도 변화에 따라 측정됩니다.프로브 레이저 빔은 온도 ( 의 가중 평균을 측정합니다.

= w1 0 0 ∞ ) ( - 2 2 2 ) ( displaystyle \ = spec { 4 } _ { w _ { 1} \ _ { 0 }^{\} \( r ) exp \ { r r 2 r 2

이 마지막 적분(6a)은 k k 위의 으로 단순화할 수 있습니다.

= a 0 g ( )x ( - 2 k ( 0 + 2) / ) d k k \ \ 2 \ pi A \ _ { 0 }^{\2}

층상구조물의 표면온도

이와 마찬가지로 적층 구조의 표면 온도에 대한 주파수 영역 해법을 얻을 수 있다.계층 구조에는 Eq. (2) 대신 Eq.(7)가 사용된다.

( ) ( + + - - + ) 1 1 1 { { \ ( k ) = { { 1 +_ { 1 - { 1 }^{ - B _ { 1 } }{ - { 1 } } { }

(δn: n층의 열전도율, Dn: n층의 열확산율, Ln: n층의 두께) Eqs를 이용하여 (6) 및 (7) 층 구조의 온도 변화를 계산할 수 있다.

시간 영역 온도 굴절에서 획득한 데이터의 모델링

시간 영역 온도 굴절 실험에서 획득한 데이터를 모델과 비교해야 한다.

T mt)} (8)

m[ R - d - M ( ( m/+ ) - ( m / - f) x ( m /) ) \ RM ( )

{2 R10)

(Q: 공진회로의 품질 계수)계산된 Vf/V0을 측정된 Vf/V0과 비교합니다.

어플

이 시간 영역 온도 굴절 과정을 통해 많은 재료의 열 특성을 얻을 수 있다.일반적인 테스트 설정에는 복수의 금속 블록을 복수의 확산으로 접속하는 것을 포함한다.이러한 테스트 설정에서는, 고온의 상태가 되면, 인접하는 2개의 금속 블록의 확산에 의해서 다양한 화합물이 생성될 수 있다.예를 들어 Ni-Cr, Ni-Pd, Ni-Pt 등의 확산 구역을 갖는 Ni-Cr-Pd-Pt-Rh-Ru 확산 배수가 있다.이와 같이 여러 가지 재료를 동시에 [5]테스트할 수 있습니다.또한 최근 [6]이 방법을 사용한 측정을 통해 고체, 완전 밀도 물질(다공성 물질 아님) 박막의 열 전도율이 가장 낮다는 보고가 있었다.

이 테스트 샘플을 얻으면 펌프와 프로브 레이저 모두에 대해 매우 짧은 레이저 펄스(<1ps)를 사용하여 시간 영역 온도 굴절 측정을 수행할 수 있습니다.그런 다음 RF 로크인 앰프에 연결된 포토다이오드에 의해 온도 변환 신호가 측정됩니다.증폭기에서 나오는 신호는 동상 및 동상 성분으로 구성되며, 이 비율을 통해 특정 지연 시간 동안 열 전도율 데이터를 측정할 수 있습니다.

이 프로세스에서 수신한 데이터를 열모델과 비교하여 열전도율 및 열전도율을 도출할 수 있습니다.이들 2개의 파라미터는 지연시간에 따라 독립적으로 도출할 수 있으며 짧은 지연시간(0.1~.5ns)을 통해 열전도율이 발생하고 긴 지연시간(> 2ns)을 통해 열전도율이 발생합니다.

레이저로부터의 노이즈에 가세해 RF 앰프의 위상 에러에 의해, 에러가 발생할 가능성이 있습니다.그러나 일반적으로 정확도는 8% 이내입니다.

레퍼런스

  1. ^ G. Andrew Antonelli, Bernard Perrin, Brian C.Daly, 그리고 David G.Cahill, "초고속광학측정법을 사용한 기계적 특성과 열적 성질의 특성", MRS Bulletin, 2006년 8월.
  2. ^ 스캇 헉스타블, 데이비드 G.케힐, 빈센트 포코니어, 제프리 오White와 Zi-Cheng Zhao, "재료 조합 연구를 위한 마이크로미터급 해상도로 열전도율 이미징", Nature Materials 3 298-301(2004), doi:10.1038/nmat1114.
  3. ^ 데이비드 G.케힐, 웨인 K포드, 케네스 E. 굿슨, 제럴드 D.마한, 아룬 마주다, 험프리 J. 마리스, 로베르토 멀린, 사이먼 R.필팟."나노스케일 열수송", J. Appl. Phys.93, 793(2003), doi:10.1063/1.1524305.
  4. ^ Cahill, DG "시간 영역 온도 굴절을 위한 계층 구조 내 열 흐름 분석" Rev Sci Instrum 2007; 75:5119, doi:10.1063/1.1819431
  5. ^ X. Jeng, D. G. Cahill, P. Krasnochchchechov, R. S. Averback 및 J.-C.Zhao, "니켈 고체 용액의 높은 스루풋 열전도율 측정 및 비데만-프랑츠 법칙의 적용 가능성", Acta Materialia 55, 5177-5185(2007)
  6. ^ 카탈린 치리테스쿠, 데이비드 G.Cahill, Ngoc Nguyen, David Johnson, Arun Bodapati, Pawel Keblinsk, Paul Zschack, "무질서 층상 WSe2 크리스탈의 초저열 전도율" Science 315, 351-353 (2007) doi:10.1126/114.