TSOM
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TSOM(Through-Focus Scanning Optical Microscopy)은 기존 밝은장 광학현미경을 이용해 나노미터급 3차원 측정 감도를 내는 영상방식이다.TSOM은 NIST의 Ravikiran Attota에[1] 의해 도입 및 관리되고 있습니다.그것은 [2]2010년에 R&D 100상을 받았다.본 발명의 TSOM 방법은 광학 현미경의 초점을 통해 대상을 주사하여 서로 다른 초점 위치에서 종래의 광학 화상을 취득한다.TSOM 이미지는 스루포커스 광학 이미지를 사용하여 구성됩니다.TSOM 이미지는 주어진 실험 조건 하에서 고유하며, 나노 크기 도량형에서 매우 잘 적용할 수 있는 독특한 방식으로 대상 치수의 변화에 민감합니다.TSOM 방법은 나노입자에서 스루-실리콘-비아(TSV)에 이르는[3][4][5][6][7][8] 여러 나노메트로로지 응용 분야를 가지고 있는 것으로 알려져 있습니다.
미국 국립 표준 기술 연구소는 TSOM 방법에 대한 짧은 비디오를 YouTube에 제작했습니다.
레퍼런스
- ^ "Archived copy". Archived from the original on 2016-06-16. Retrieved 2017-07-13.
{{cite web}}: CS1 maint: 제목으로 아카이브된 복사(링크) - ^ "Research & Development World".
- ^ https://www.nist.gov/pml/div683/grp03/upload/tsom-ravikiran-attota.pdf[베어 URL PDF]
- ^ Ravikiran Attota, Ronald G. Dixson, Andras E.Vladarr "Through-focus scanning 광학 현미경 검사", Proc.SPIE 8036, Scanning Microsopies 2011: 국방, 국토안보, 법의학, 생명, 환경 및 산업과학의 고급 현미경 기술, 803610(2011년 6월 1일), http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1265236 doi: 10.117/12.884706
- ^ Attota, R.; Bunday, B.; Vartanian, V. (2013). "Critical dimension metrology by through-focus scanning optical microscopy beyond the 22 nm node". Appl. Phys. Lett. 102 (22): 222107. Bibcode:2013ApPhL.102v2107A. doi:10.1063/1.4809512.
- ^ Attota, R.; Dixson, R.G. (2014). "Resolving three-dimensional shape of sub-50 nm wide lines with nanometer-scale sensitivity using conventional optical microscopes". Appl. Phys. Lett. 105 (4): 043101. Bibcode:2014ApPhL.105d3101A. doi:10.1063/1.4891676.
- ^ Attota, R.; Kavuri, P.P.; Kang, H.; Kasica, R.; Chen, L. (2014). "Nanoparticle size determination using optical microscopes". Appl. Phys. Lett. 105 (16): 163105. Bibcode:2014ApPhL.105p3105A. doi:10.1063/1.4900484.
- ^ Kang, H.; Attota, R.; Tondare, V.; Vladar, A.E.; Kavuri, P. (2015). "A method to determine the number of nanoparticles in a cluster using conventional optical microscopes". Appl. Phys. Lett. 107 (10): 103106. Bibcode:2015ApPhL.107j3106K. doi:10.1063/1.4930994.
