표면파 유지 방전

Surface-wave-sustained discharge

표면파 유지방전은 전자기 표면파의 [1][2]전파에 의해 들뜨는 플라즈마이다.표면파 플라즈마 소스는 플라즈마가 이온화에 의해 자체 도파관의 일부를 발생시키는지 여부에 따라 두 그룹으로 나눌 수 있다.전자는 자기유도 플라즈마라고 불린다.표면파 모드를 사용하면 수평 치수가 전자파의 여러 파장으로 확장되는 볼륨에서 균일한 고주파 들뜸 플라스마를 생성할 수 있습니다. 예를 들어 진공 상태에서 2.45GHz의 마이크로파의 경우 파장은 12.2cm에 달합니다.

이론.

오랫동안 [when?]자기장이 없는 극초단파 플라즈마 선원은 고밀도 플라즈마 생성에 적합하지 않은 것으로 간주되었다.전자파는 고밀도 플라스마에서는 전파되지 않는다.이 파동은 피부 효과로 인해 플라즈마 표면에 반사되어 일시적인 파동이 됩니다.침투 깊이는 피부 깊이†(\에 해당하며, 이는 다음과 같이 근사할 수 있습니다.

증발파의 사라지지 않는 침투 깊이는 플라즈마를 가열하는 대체 방법을 엽니다.플라즈마를 통과하는 대신 플라즈마의 전도율은 플라즈마 표면을 따라 파형이 전파되도록 합니다.파동 에너지는 표면과 수직인 플라즈마로 들어가 피부 깊이에 따라 기하급수적으로 감소하는 증발파에 의해 플라즈마로 전달됩니다.전달 메커니즘은 임계 밀도를 초과하는 전자 밀도를 가진 고밀도 플라스마를 생성할 수 있도록 합니다.

설계.

표면파 유지 플라즈마(SWP)는 다양한 수신기하학으로 동작할 수 있다.표면파 들뜸 플라즈마에 접근할 수 있는 압력 범위는 프로세스 가스 및 리셉터의 직경에 따라 달라집니다.챔버 직경이 클수록 SWP 모드에 필요한 최소 압력은 낮아집니다.마찬가지로 안정된 SWP가 동작할 수 있는 최대 압력은 직경이 커질수록 감소한다.

SWP의 수치 모델링은 상당히 복잡하다.플라즈마는 전자파에 의해 생성되지만 동일한 파장을 반사하고 유도하기도 합니다.따라서 진정한 자기 정합성이 있는 설명이 필요합니다.

레퍼런스

  1. ^ Calzada, M. D.; Moisan, M.; Gamero, A.; Sola, A. (1996). "Experimental investigation and characterization of the departure from local thermodynamic equilibrium along a surface‐wave‐sustained discharge at atmospheric pressure". Journal of Applied Physics. 80 (1): 46–55. doi:10.1063/1.362748. ISSN 0021-8979.
  2. ^ Zakrzewski, Zenon; Moisan, Michel; Sauvé, Gaston (1993). "Surface-Wave Plasma Sources". 302: 117–140. doi:10.1007/978-1-4899-1130-8_9. ISSN 0258-1221. {{cite journal}}:Cite 저널 요구 사항 journal=(도움말)