플라즈마 가공은 표면의 화학적·물리적 성질을 수정하는 것을 목적으로 하는 플라즈마 기반의 재료 가공 기술이다.
플라즈마 처리 기법에는 다음이 포함된다.
관련 주제로는 플라즈마 화학, 화학 증기 증착, 스퍼터 증착, 플라즈마 이온도핑, 진공 플라즈마스크레이닝, 반응 이온 에칭 등의 물리적 증기 증착 과정이 있다.
