토마스 유진 에버하트

Thomas Eugene Everhart
토마스 유진 에버하트
Thomas Everhart 1987.png
1987년 에버하트
제5대 캘리포니아 공과대학교 총장
재직중
1987–1997
선행자마빈 골드버거
성공자데이비드 볼티모어
제4대 일리노이 대학교 어바나 샴페인 총장
재직중
1984–1987
선행자존 크립베트
성공자모턴 W. 위르
개인내역
태어난 (1932-02-15) 1932년 2월 15일 (89세)
미국 미주리 주 캔자스시티
시민권미국
모교하버드 대학교, 캘리포니아 대학교, 로스앤젤레스, 캠브리지 대학교
수상 IEEE 100주년 메달(1984)
클라크 커상(1992)
ASEE 센테니얼 메달리온(1993)
IEEE 파운더스 메달(2002)
오카와상(2002)
과학 경력
필드전기공학, 응용물리학
기관캘리포니아 대학교, 버클리, 코넬 대학교, 일리노이 대학교 Urbana-Champaign, 캘리포니아 공과대학, 캠브리지 대학교
논문스캐닝 전자 현미경의 대비 형성 (1958)
박사학위 자문위원찰스 오틀리

토마스 유진 에버하트 FRENG([1]Thomas Eugene Everhart FRENG, 1932년 2월 15일생, 미주리 주 캔자스 시티)는 미국의 교육자 겸 물리학자다. 그의 전문 분야는 전자빔의 물리학이다. 리처드 F. M. 손리와 함께 그는 에버하트를 디자인했다.쏜리 검출기. 이 검출기들은 전자현미경을 스캔하는 데 여전히 사용되고 있다. 비록 그러한 검출기가 1956년에 처음으로 사용 가능했음에도 말이다.

에버하트는 스캐닝 전자현미경의 전자광학 및 전자와 생물학에서의 사용에 대한 기여로 1978년 미국 공학 아카데미의 회원으로 선출되었다. 그는 1990년에 영국 왕립 공학 아카데미의 국제 연구원으로 임명되었다.[2] 1984년부터 1987년까지 어바나 샴페인에서 일리노이 대학 총장을, 1987년부터 1997년까지 캘리포니아 공과대학교 총장을 역임했다.

조기생활과 교육

에버하트의 부모는 윌리엄 E였다. 에버하트와 엘리자베스 A. 웨스트. 에버하트는 1953년 하버드 대학교에서 물리학 석사 학위를 받았고, 1955년 캘리포니아 대학교 로스앤젤레스에서 응용 물리학 석사 학위를 받았다. 그는 캠브리지 대학의 클레어 대학에서 마샬 장학금을 받았고 1958년 찰스 오틀리 교수 휘하의 물리학 박사 과정을 마쳤다.[1]

경력

에버하트-손리 검출기

에버하트는 1955년 캠브리지에서 찰스 오틀리와 함께 학생으로 전자현미경(SEM) 스캐닝에 관한 연구와 전자탐지를 시작했다.[3] 초기 프로토타입인 SEM1은 1952년 전자현미경 설계와 관련된 그의 논문 Researchs를 발표한 Dennis McMullen에 의해 개발되었다.[3][4] 저에너지 이차 전자를 효율적으로 검출할 수 있는 방법을 개발한 켄 C. A. 스미스에 의해 더욱 수정되었다.[5] Oatley와 그의 학생들은 표면 지형을 연구하기 위한 다양한 새로운 기술을 개발하기 위해 SEM을 사용했다.[3][6]

에버하트는 저에너지 제2세리어를 검출하는 기술을 개발했다. 1958년 그의 박사 논문은 스캔 전자현미경의 콘트라스트 형성이었다.[6] 그는 SEM에 의해 검출된 전자를 분석하면서 측정된 신호의 약 67%가 시료에서 나오는 낮은 에너지 이차 때문이라고 보고했다.[7] 약 3%는 더 높은 에너지 반사 전자 때문이었다.[5] 그는 또한 소개된 소음을 모형화하기 위한 방정식을 제시했다.[3][7]

시료에 인가되는 전압과 그에 따른 영상 대비 사이의 관계를 설명하기 위해 "전압 대비"라는 용어를 사용하는 것은 Everhart에 기인한다.[8][9] 1959년 현재 에버하트는 편향된 실리콘 다이오드의 p-n 접합부의 첫 번째 전압 대비 영상을 제작했다.[10] 시료의 표면 전기 전위 변화를 감지하는 능력인 전압 대비는 이제 반도체의 특성화, 진단 및 고장 분석에 사용되는 여러 영상 모드 중 하나가 되었다. 판매된 SEM의 절반은 반도체 애플리케이션에서 사용되는 것으로 추정된다.[11]

에버하트는 대조 메커니즘을 자세히 연구했고 고체에서 나온 전자의 반사 이론을 새로 개발했다.[12] 그는 또한 SEM에서 빔 침투가 이미지 형성에 미치는 영향에 대한 최초의 정량적 연구도 했다.

1960년에 Everhart와 Richard F. M. Thornley는 Everhart-로 알려진 이차 전자 검출기의 개선된 설계에 대한 설명을 발표했다.쏜리 검출기. 에버하트와 쏜리는 스캐닝 전자현미경의 대피 표본실 안 섬광기의 광자 신호를 챔버 바깥의 광전자 증배기로 운반하기 위해 라이트 파이프를 추가하여 기존 검출기의 효율을 높였다.[13] 이것은 신호 수집을 강화하고 신호 대 잡음 비를 개선시켰다. 1963년, 피세와 닉슨은 에버하트-손리 검출기를 최초의 상업용 SEM의 원형에 편입시켰고, 후에 캠브리지 과학 기기 마크 I 스테레오스칸으로 개발되었다. 이러한 유형의 2차 전자 및 백스캐터 전자 검출기는 여전히 현대 스캐닝 전자현미경(SEM)에 사용된다.[14]

SEM과 함께 다양한 종류의 검출기를 사용하면 검사 중인 시료의 지형, 결정학, 구성 등을 매핑할 수 있게 된다.[4] 1960년대 웰스, 에버하트, 마타 등은 피츠버그의 웨스팅하우스 연구소에 반도체 연구와 미세조직을 위한 고급 SEM을 구축했다. 그들은 EBIC 이미징의 초기 예인 활성 장치의 여러 레이어를 보다 효과적으로 검사하기 위해 신호를 결합할 수 있었다.[15][16]

버클리 캘리포니아 대학교

1958년부터 1978년까지 에버하트는 버클리 캘리포니아 대학에서 교수로 재직했으며, 후기 공학과 컴퓨터과학부장이었다.[1] 그곳에서 그는 미국 대학 최초로 전자현미경을 스캐닝하는 것을 지지했다.[17]

코넬 대학교

1979년 1월 뉴욕 이타카 코넬대 공과대학 조셉 실버트 학장이 되었다.[18]

일리노이 대학교

에버하트는 1984년부터 1987년까지 일리노이 대학교 어바나 샴페인의 총리로 재직했다. 수상으로서 Everhart는 아놀드 오르빌 벡먼에게 호소하여 실질적으로 자금을 지원받은 학제간 연구기관인 벡먼 첨단과학기술연구소의 제안과 개발에 관여했다.[19]: 9–14 에버하트는 베크만 연구소를 위한 행정위원회 위원들을 공식 초청한 자리에서 "베크만 연구소의 설립은 특별한 기회, 아마도 우리가 일하는 삶에서 보게 될 가장 드라마틱하고 흥미진진한 기회일 것"이라고 썼다."[19]: 97

캘리포니아 공과대학교

에버하트는 1987년부터 1997년까지 캘리포니아 공과대학의 총장이었습니다.[20] 에버하트는 칼텍 사장으로서 중력파를 탐지해 물리학과 천문학에 기초적인 연구에 활용하려는 대규모 실험인 레이저 간섭계 중력파 관측소(LIGO) 프로젝트를 승인했다.[21]

칼텍에 있는 동안, 에버하트는 3억 5천만 달러의 기금 모금 운동을 이끌면서 대학의 실질적인 확장에 관여했다. 1989년에는 생물, 화학, 관련 과학 연구 센터인 칼텍의 벡만 연구소를 헌납하는 데 일조했다.[22] 아놀드 오빌 벡먼과 그의 아내 메이블의 지원을 받은 다섯 개의 연구소 중 두 번째였다. 에버하트는 또한 W. M. 케크 재단의 지원을 받는 하와이의 W. M. 케크 천문대,[23] 인텔의 고든 무어가 지원하는 고든과 베티 무어 공학 연구실,[24] 셔먼 페어차일드 재단이 지원하는 페어차일드 공학 도서관의 개발에 관여했다.[20][25]

에버하트는 여성 교수진을 더 많이 채용하고 여성 등록을 늘리기 위한 노력을 촉진했다. 칼텍에서의 마지막 해에 신입생 반의 여성 수는 그가 칼텍에 입사한 해의 두 배였다.[20]

1998년부터 에버하트는 캘리포니아 공과대학의 수탁자 역할을 해왔다.[26] 그는 레이시온과 카블리 재단의 이사회에 앉는다.[18]

하버드 대학교

1999년에 에버하트는 하버드 대학의 감독관으로 6년 임기에 선출되었다. 2001년에 그는 감독 집행 위원회의 일원이 되었다. 2000~01년 이 대학 총장 수색위원회에 참여한 3명의 감독 중 한 명이었다. 2004년에는 2004-05년에 하버드 대학 감독원장으로 선출되었다.[27]

수상 및 수상

에버하트는 다음을 포함한 다수의 과학 사회에 선출되었다.[1]

에버하트는 다음과 같은 여러 상을 받았다.[1]

참조

  1. ^ a b c d e Brock, David C.; Mody, Cyrus (3 May 2011). Thomas E. Everhart, Transcript of an Interview Conducted by David C. Brock and Cyrus Mody as a phone interview and in Santa Barbara, California on 28 March 2007 and 3 May 2011 (PDF). Philadelphia, PA: Chemical Heritage Foundation.
  2. ^ "List of Fellows". Royal Academy of Engineering.
  3. ^ a b c d Rodenburg, J.M. (1997). Electron microscopy and analysis 1997 : proceedings of the Institute of Physics Electron Microscopy and Analysis Group conference, Cavendish Laboratory, University of Cambridge, 2-5 September 1997. Bristol: Institute of Physics Pub. pp. 11–16. ISBN 978-0750304412. Retrieved 19 June 2015.
  4. ^ a b Ratinac, Kyle R. (2008). "Great moment 9: Scanning electron microscopy". In Ratinac, Kyle R. (ed.). 50 great moments : celebrating the golden jubilee of the University of Sydney's Electron Microscope Unit. University of Sydney, N.S.W.: Sydney University Press. pp. 71–81. ISBN 9781920898762. Retrieved 19 June 2015.
  5. ^ a b Everhart, T. E. (2004). "Contrast formation in the scanning electron microscope". In Hawkes, Peter W. (ed.). Advances in imaging and electron physics: Volume 133, Sir Charles Oatley and the Scanning Electron Microscope (1st ed.). Oxford: Elsevier Academic Press. pp. 137–145. ISBN 978-0123859853.
  6. ^ a b Holt, D. B.; Joy, D. C. (1989). SEM Microcharacterization of Semiconductors. Elsevier Science. pp. xi–xii. ISBN 9780123538550. Retrieved 18 June 2015.
  7. ^ a b Hawkes, Peter W. (2004). Advances in imaging and electron physics: Volume 133, Sir Charles Oatley and the Scanning Electron Microscope (1st ed.). Oxford: Elsevier Academic Press. ISBN 978-0123859853.
  8. ^ Breton, Bernie C. "The Early History and Development of The Scanning Electron Microscope". University of Cambridge. Retrieved 18 June 2015.
  9. ^ Oatley, CW; Everhart, TE (1957). "The examination of p-n junctions in the scanning electron microscope". Journal of Electronics. 2 (6): 568–570. doi:10.1080/00207215708937060.
  10. ^ Everhart, T.E.; Wells, O.C.; Oatley, C.W. (1959). "Factors affecting contrast and resolution in the scanning electron microscope". Journal of Electronics Control. 7 (2): 97–111. doi:10.1080/00207215908937191.
  11. ^ Newbury, Dale D.; Joy, David C.; Echlin, Patrick; Fiori, Charles E.; Goldstein, Joseph I. (1986). Advanced scanning electron microscopy and x-ray analysis. New York: Plenum Press, Inc. p. 45. ISBN 9780306421402.
  12. ^ Everhart, T. E. (1960). "Simple Theory Concerning the Reflection of Electrons from Solids". Journal of Applied Physics. 31 (8): 1483–1490. Bibcode:1960JAP....31.1483E. doi:10.1063/1.1735868.
  13. ^ Everhart, TE and RFM Thornley (1960). "Wide-band detector for micro-microampere low-energy electron currents" (PDF). Journal of Scientific Instruments. 37 (7): 246–248. Bibcode:1960JScI...37..246E. doi:10.1088/0950-7671/37/7/307.
  14. ^ Bogner, A.; Jouneau, P.-H.; Thollet, G.; Basset, D.; Gauthier, C. (2007). "A history of scanning electron microscopy developments: Towards "wet-STEM" imaging" (PDF). Micron. 38 (4): 390–401. doi:10.1016/j.micron.2006.06.008. PMID 16990007. Retrieved 18 June 2015.
  15. ^ Wells, OC; Everhart, TE; Matta, RK (1965). "Automatic positioning of device electrodes using the scanning electron microscope". IEEE Transactions on Electron Devices. ED-12 (10): 556–563. Bibcode:1965ITED...12..556W. doi:10.1109/t-ed.1965.15607.
  16. ^ Everhart, T. E.; Hoff, P. H. (1971). "Determination of Kilovolt Electron Energy Dissipation vs Penetration Distance in Solid Materials". Journal of Applied Physics. 42 (13): 5837–5846. Bibcode:1971JAP....42.5837E. doi:10.1063/1.1660019.
  17. ^ "IEEE Founders Medal Recipients".
  18. ^ a b "Thomas E. Everhart". The Kavli Foundation. Retrieved 19 June 2015.
  19. ^ a b Brown, Theodore L. (2009). Bridging divides : the origins of the Beckman Institute at Illinois. Urbana: University of Illinois. ISBN 978-0252034848. Retrieved 11 December 2014.
  20. ^ a b c Woo, Elaine (May 23, 1996). "President of Caltech Announces Resignation". Los Angeles Times. Retrieved 19 June 2015.
  21. ^ "History & Milestones". Caltech. Retrieved 19 June 2015.
  22. ^ "Dedicating Beckman Institute" (PDF). Caltech News. 23 (6): 1–2. 1989. Retrieved 19 June 2015.
  23. ^ Copman, Linda; Kamisato, Peggi (2007). "Visionary Philanthropy: A Home Run". Cosmic Matters, Keck Observatory. Archived from the original on 2011-04-13.
  24. ^ Flanigan, James (January 10, 1996). "With Its New Lab, Caltech Has a Formula to Survive Uncertainty". Los Angeles Times. Retrieved 19 June 2015.
  25. ^ Douglas, Kimberly. "Sherman Fairchild Library: Ten Years Later". Division of Engineering and Applied Science. Caltech. Retrieved 19 June 2015.
  26. ^ "Former Caltech President Tom Everhart Elected to Board". Caltech News and Events. 1998. Retrieved 19 June 2015.
  27. ^ "Everhart named Overseers president for 2004-05". Harvard Gazette. June 10, 2004. Retrieved 19 June 2015.

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