질량 흐름 제어기
Mass flow controller | 이 글은 검증을 위해 인용구가 추가로 필요하다.– · · 책· · (2018년 9월 (이 템플릿 |
질량 흐름 제어기(MFC)는 액체와 기체의 흐름을 측정하고 제어하기 위해 사용되는 장치다.[1]질량 흐름 제어기는 특정 유형의 액체나 가스를 특정 유량 범위에서 제어하도록 설계되고 교정된다.MFC는 풀 스케일의 0~100% 범위에서 설정점을 부여할 수 있지만, 일반적으로 최고의 정확도를 달성하는 풀 스케일의 10~90%에서 운용된다.그러면 기기는 주어진 설정 지점까지의 유량을 제어한다.MFC는 아날로그 또는 디지털일 수 있다.디지털 흐름 제어기는 보통 둘 이상의 유체를 제어할 수 있는 반면 아날로그 제어기는 그것이 보정된 유체로 제한된다.
모든 흡입 흐름 제어기에는 흡입 포트, 배출 포트, 흡입 흐름 센서 및 비례 제어 밸브가 있다.MFC는 운전원(또는 외부 회로/컴퓨터)이 질량 흐름 센서의 값과 비교하는 입력 신호를 제공하는 폐쇄 루프 제어 시스템을 갖추고 있으며, 그에 따라 비례 밸브를 조정하여 필요한 흐름을 달성한다.유량은 보정된 풀 스케일 유량의 백분율로 지정되며 전압 신호로 MFC에 공급된다.
질량 흐름 제어기는 공급 가스 또는 액체가 특정 압력 범위 내에 있어야 한다.저압은 유체의 MFC를 굶겨서 그것이 설정점을 달성하지 못하게 할 것이다.압력이 높을 경우 유속이 불규칙해질 수 있다.유체의 흐름을 측정하는 데 도움을 줄 수 있고 결국 흐름을 제어하는 데 도움을 줄 수 있는 많은 다양한 기술들이 있다.이 기술들은 질량 흐름 제어기의 유형을 정의하며, 차압(ΔP), 차온(ΔT), 코리올리, 초음파, 전자기, 터빈 등을 포함한다.
참고 항목
참조
- ^ Tison, S. A. (1996). "A critical evaluation of thermal mass flow meters" (PDF). Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 14 (4): 2582–2591. Bibcode:1996JVSTA..14.2582T. doi:10.1116/1.579985. ISSN 0734-2101. S2CID 39546958. Archived from the original (PDF) on 2019-03-02.
