정합성 검사 간섭계

Coherence scanning interferometry

정합성 스캐닝 중간측정법(CSI)은 광 경로 길이 스캔 중 간섭 프링의 국산화에서 지형, 투명 필름 구조 및 광학적 특성과 같은 표면 특성을 판단할 수 있는 수단을 제공하는 광학 표면 측정법의 일종이다.CSI는 현재 영역 표면 지형 측정을 위한 가장 일반적인 간섭 현미경 기법이다.[1]CSI라는 용어는 국제표준화기구(ISO)에 의해 채택되었다.[2]

특성 CSI 신호

이 기법은 시각적 광대역, 가시적 소스(백색 광원)를 사용하여 간섭 근거리 국산화 달성을 수행하는 기기를 포함하지만 이에 국한되지는 않는다.CSI는 표면 유형, 원하는 표면 지형 반복성 및 소프트웨어 기능에 따라 프린지 국산화만 사용하거나 간섭 프린지 단계와 조합하여 프린지 국산화만 사용한다.아래 표는 적어도 위의 정의에 부분적으로 부합하는 대체 용어를 컴파일한다.

약어 용어 참조
CSI 정합성 검사 간섭계 [3]
CPM 정합성 프로브 현미경 [4]
CSM 정합성 스캔 현미경 [5]
CR 정합성 레이더 [6]
CCI 정합성 상관 계수 [7]
MCM 미라우상관현미경 [8]
WLI 백색광 간섭계 [9]
WLSI 화이트 라이트 스캐닝 간섭계 [10]
SWLI 흰색 광선 간섭계 스캔 [11]
WLS 화이트 라이트 스캐너
WLPSI 백색 광상 전환 간섭계 [12]
VSI 수직 스캐닝 간섭계 [13]
RSP 거친 표면 프로파일러 [14]
IRS 적외선 스캔 [15]
10월 풀 필드 광학 정합성 단층 촬영 [16]

참조

  1. ^ de Groot, P (2015). "Principles of interference microscopy for the measurement of surface topography". Advances in Optics and Photonics. 7 (1): 1–65. Bibcode:2015AdOP....7....1D. doi:10.1364/AOP.7.000001.
  2. ^ ISO(2013).25178-604:2013(E):기하학적 제품 사양(GPS) – 표면 텍스처:영역 – 비접촉(공칭 스캔 간섭현미경) 기구의 공칭 특성(2013(E) Ed.제네바:국제표준화기구
  3. ^ Windecker, R.; Haible, P.; Tiziani, H. J. (1995). "Fast Coherence Scanning Interferometry for Measuring Smooth, Rough and Spherical Surfaces". Journal of Modern Optics. 42 (10): 2059–2069. Bibcode:1995JMOp...42.2059W. doi:10.1080/09500349514551791.
  4. ^ Davidson, M.; Kaufman, K.; Mazor, I. (1987). "The Coherence Probe Microscope". Solid State Technology. 30 (9): 57–59.
  5. ^ Lee, B. S.; Strand, T. C. (1990). "Profilometry with a coherence scanning microscope". Appl Opt. 29 (26): 3784–3788. Bibcode:1990ApOpt..29.3784L. doi:10.1364/ao.29.003784. PMID 20567484.
  6. ^ Dresel, T.; Häusler, G.; Venzke, H. (1992). "Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar". Applied Optics. 31 (7): 919–925. Bibcode:1992ApOpt..31..919D. doi:10.1364/ao.31.000919. PMID 20720701.
  7. ^ 리-베넷, I. (2004)비접촉식 표면 계측학의 발전.광학 제작 및 테스트, OTC1.
  8. ^ Kino, G. S.; Chim, S. S. C. (1990). "Mirau correlation microscope". Applied Optics. 29 (26): 3775–83. Bibcode:1990ApOpt..29.3775K. doi:10.1364/ao.29.003775. PMID 20567483.
  9. ^ Larkin, K. G. (1996). "Efficient nonlinear algorithm for envelope detection in white light interferometry". Journal of the Optical Society of America A. 13 (4): 832. Bibcode:1996JOSAA..13..832L. CiteSeerX 10.1.1.190.4728. doi:10.1364/josaa.13.000832.
  10. ^ 와이언트, J. C. (1993년 9월)거친 표면 검사를 위한 간섭 측정법을 확장하는 방법.레이저 포커스 월드 131-135
  11. ^ Deck, L.; de Groot, P. (1994). "High-speed noncontact profiler based on scanning white-light interferometry". Applied Optics. 33 (31): 7334–7338. Bibcode:1994ApOpt..33.7334D. doi:10.1364/ao.33.007334. PMID 20941290.
  12. ^ Schmit, J.; Olszak, A. G. (2002). Creath, Katherine; Schmit, Joanna (eds.). "Challenges in white-light phase-shifting interferometry". Proc. SPIE. Interferometry XI: Techniques and Analysis. 4777: 118–127. Bibcode:2002SPIE.4777..118S. doi:10.1117/12.472211. S2CID 128892213.
  13. ^ Harasaki, A.; Schmit, J.; Wyant, J. C. (2000). "Improved vertical-scanning interferometry". Applied Optics. 39 (13): 2107–2115. Bibcode:2000ApOpt..39.2107H. doi:10.1364/ao.39.002107. hdl:10150/289148. PMID 18345114.
  14. ^ Caber, P. J. (1993). "Interferometric profiler for rough surfaces". Appl Opt. 32 (19): 3438–3441. Bibcode:1993ApOpt..32.3438C. doi:10.1364/ao.32.003438. PMID 20829962.
  15. ^ De Groot, P.; Biegen, J.; Clark, J.; Colonna; de Lega, X.; Grigg, D. (2002). "Optical Interferometry for Measurement of the Geometric Dimensions of Industrial Parts". Applied Optics. 41 (19): 3853–3860. Bibcode:2002ApOpt..41.3853D. doi:10.1364/ao.41.003853. PMID 12099592.
  16. ^ Dubois, A; Vabre, L; Boccara, AC; Beaurepaire, E (2002). "High-resolution full-field optical coherence tomography with a Linnik microscope". Applied Optics. 41 (4): 805–12. Bibcode:2002ApOpt..41..805D. doi:10.1364/ao.41.000805. PMID 11993929.


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