PMUT
PMUT압전 마이크로머신드 초음파 변환기(PMUT)는 MEMS 기반의 압전 초음파 변환기입니다.PZT나 단결정 PMN-PT와 같은 압전 세라믹 판의 두께 모드 운동을 사용하는 벌크 압전 변환기와 달리 PMUT는 PVDF와 [1][2][3][4][5]같은 얇은 압전막과 결합된 얇은 막의 휨 운동을 기반으로 한다.벌크 압전 초음파 변환기와 비교하여 PMUT는 대역폭 증가, 유연한 형상, 물과 일치하는 자연 음향 임피던스, 전압 요건 감소, 다양한 공진 주파수 혼합 및 특히 소형화된 전자 회로와의 집적 가능성 등의 이점을 제공할 수 있습니다.주파수 어플리케이션
레퍼런스
- ^ Trolier-McKinstry, Susan; P. Muralt (January 2004). "Thin Film Piezoelectric for MEMS". Journal of Electroceramics. 12 (1–2): 7. doi:10.1023/B:JECR.0000033998.72845.51. S2CID 108579867.
- ^ Hajati, Arman; et al. (2012). "Three-dimensional micro electromechanical system piezoelectric ultrasound transducer". Applied Physics Letters. 101 (25): 253101. doi:10.1063/1.4772469.
- ^ Muralt, Paul (December 2005). "Piezoelectric micromachined ultrasonic transducers based on PZT thin films". IEEE Trans Ultrasonics, Ferroelectrics. 52 (12): 2276–2288. doi:10.1109/TUFFC.2005.1563270. PMID 16463493. S2CID 24177361.
- ^ Qiu, Yongqiang; et al. (2015). "Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (PMUT) Arrays for Integrated Sensing, Actuation and Imaging". Sensors. 15 (4): 8020–41. doi:10.3390/s150408020. PMC 4431219. PMID 25855038.
- ^ Brown, Lewis (November 2000). "Design Considerations for Piezoelectric Polymer Ultrasound Transducer". IEEE Trans Ultrasonics, Ferroelectrics. 47 (6): 1377–1396. doi:10.1109/58.883527. PMID 18238684. S2CID 43756472.
