비증발성 게터
Non-evaporable getter기체 분자의 금속 표면 흡착 원리에 기초한 비 증발성 게터(NEG)는 알, 즈르, 티, V, Fe의 다공성 합금 또는 분말 혼합물이다. 그것들은 부분 진공 내에 남아 있는 가스 분자에 담가 두거나 결합함으로써 진공 상태를 확립하고 유지하는데 도움을 준다. 이는 활성 가스와 함께 안정적인 화합물을 쉽게 형성하는 물질을 사용하여 이루어진다. 그것들은 많은 진공 시스템의 성능을 향상시키는 중요한 도구들이다. 고진공 용기 내부 표면에 소결되어 NEG 코팅은 좁고 펌핑이 어려운 공간에도 적용이 가능해 이것이 문제가 되는 입자 가속기에서 매우 인기가 높다. 펌프 속도 및 흡착 용량과 같은 NEG 종류의 주요 흡착 파라미터는 낮은 한계를 가지고 있다. 코팅되지 않은 다른 유형의 NEG는 튜브게터다. 이러한 게터 활성화는 기계적으로 또는 온도 550K에서 이루어진다.[1] HV/UHV 조건에서 온도 범위는 0 - 800K이다.
NEG는 압력을 10mbar−12 이하로 줄일 수 있는 게터 또는 게터 펌프 역할을 한다.
바륨이 함유된 튜브게터
참조
- ^ Asadian, Mohammad H.; Askari, Sina; Shkel, Andrei M. (2017). "An Ultrahigh Vacuum Packaging Process Demonstrating over 2 Million Q-Factor in MEMS Vibratory Gyroscopes". IEEE Sensors Letters. 1 (6): 1–4. doi:10.1109/LSENS.2017.2762287. S2CID 8167536.
비디오: 비증발성 게터(NEG) 작동
폴더: 튜브게터
참고 항목
