라인의 앞쪽 끝

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전선(FEOL)은 반도체에서 개별 장치(트랜지스터, 캐패시터, 저항기 등)가 패턴화된 IC 제조의 첫 번째 부분이다.^[1]FEOL은 일반적으로 금속 인터커넥트 레이어의 증착까지는 포함하지 않지만 모든 것을 포함한다.

CMOS 프로세스의 경우 FEOL은 완전히 격리된 CMOS 요소를 형성하는 데 필요한 모든 제작 단계를 포함한다.

1. 사용할 웨이퍼 유형 선택(화학 기계식 평면화 및 웨이퍼 청소)
2. 얕은 트렌치 절연(STI)(또는 초기 공정의 LOCOS, 형상 크기가 0.25μm 미만)
3. 우물형성
4. 게이트 모듈 구성
5. 소스 및 배출 모듈 구성

참고 항목

• 줄의 뒷쪽 끝
• 집적회로

참조

추가 읽기

• "CMOS: 회로 설계, 레이아웃 및 시뮬레이션" Wiley-IEEE, 2010.ISBN 978-0-470-88132-3. 페이지 177-178(CMOS 프로세스 통합 7.2장), 180-199페이지(7.2.1 프런트 엔드 통합)