Etec 시스템즈
Etec Systems |
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| 설립. | 1970 |
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| 없어졌다 | 2005 |
| 운명. | Applied Materials 구매 |
| 상품들 | 주사 전자 현미경 레이저광 리소그래피 공구 |
Etec Systems는 1970년부터 2005년까지 주사 전자 현미경, 전자 빔 리소그래피 도구 및 레이저 빔 리소그래피 도구를 생산한 미국 기업입니다.그것은 캘리포니아의 헤이워드와 오레곤의 힐즈보로에 위치해 있었다.
회사 이력
캘리포니아 헤이워드의 이텍사는 1970년 스캔 전자현미경(SEM) 생산업체로 설립됐으나 이후 전자빔 리소그래피 도구 생산업체로 바뀌어 SEM 제조가 중단됐다.
Etec은 이후 레이저 빔 리소그래피 도구를 제조한 오리건 주 비버튼(포트랜드 지역)의 ATEQ와 합병했습니다.합병한 회사는 "Etec Systems"로 명명되었으며 전자와 레이저 빔에 모두 의존하는 리소그래피 포트폴리오를 제공했습니다.이 제품들은 집적회로 제조에 사용되는 포토마스크와 레티클을 대상으로 했습니다.1999년 오리건주 비버튼은 오리건주 힐즈보로 이전했다.
Etec은 2000년에 Applied Materials에 인수되어 Applied Materials Corporation 내에서 자율적인 비즈니스 그룹으로 조직되었습니다.2000년에 이텍은 헤이워드에서 [1]600명의 노동자를 고용했다.
2002년 Applied Materials는 Etec을 [2]폐쇄하는 계획을 검토하고 있다고 발표했습니다.Etec Systems는 2005년 [3]10월에 모회사인 Applied Materials에 흡수 합병되었습니다.
상품들
주사 전자 현미경
1970년에 처음 만들어진 이텍은 매우 고품질의 주사 전자 현미경을 생산했습니다. 많은 기구들이 30년이 [citation needed]지난 지금도 잘 작동하고 있습니다.Nelson Yew가 디자인한 오토스캔은 디지털 노이즈 등의 문제에 시달리는 현대식 기기를 능가하는 뛰어난 이미지를 만들어냈습니다.
MEBES가 주력 제품이 되면서 Perkin Elmer에 인수되어 SEM 제조가 중단되었습니다.
전자빔 리소그래피 공구
2002년 이후, 원래의 Etec 제품을 구성하는 제품 라인(MEBES – Manufacturing Electron Beam Exposure System)은 단종되었습니다.대부분의 MEBES III 툴은 Etec CORE 및 ALTA 레이저 리소그래피 툴을 위해 폐기되었습니다.이 툴은 처리량이 고속이며 용제 기반 개발 프로세스가 필요 없는 보다 친환경적인 IP3500 타입의 레지스트를 사용합니다.그러나 현재 전 세계적으로 많은 MEBES III와 IV가 사용되고 있다.
레이저 빔 리소그래피 도구
2005년 Etec을 인수하여 Etec 라인의 레이저 기반 리소그래피 툴은 Applied Materials에 의해 개발 및 생산되고 있습니다.스웨덴의 Micronic AB와 독일의 Heidelberg Instruments는 레이저 기반 마스크 제조 솔루션의 경쟁업체입니다.그러나 Applied Material의 레이저 리소그래피 도구에 대한 수요로 인해 여전히 포토마스크 업계에서 가장 널리 이용되고 사용되는 도구가 될 수 있었습니다.
레퍼런스
- ^ "Archived copy" (PDF). Archived from the original (PDF) on 2011-10-01. Retrieved 2011-11-13.
{{cite web}}: CS1 maint: 제목으로 아카이브된 복사(링크) - ^ LaPedus, Mark (March 11, 2002). "Applied 'reviewing' plan to shut down e-beam tool operation, sources say".
- ^ "Applied Materials exits photomask business". www.laserfocusworld.com. Archived from the original on 2018-04-07. Retrieved 2018-04-06.
