칼 자이스 SMT

Carl Zeiss SMT
칼 자이스 SMT GmbH
유형GmbH(독일)
산업반도체 제조 기술
설립됨2001
본부독일 오버코첸
주요인
  • 안드레아스 페처
  • 안드레아스 도셀
  • 토르스텐 레이츠
수익22억9800만 유로(약 1조7100억 원/[1]21)
웹사이트www.zeiss.com/smt

Carl Zeiss SMT GmbH는 ZEISS의 반도체 제조 기술 사업부로 구성되며 마이크로칩 제조용 장비를 개발, 생산한다.이 회사는 칼 자이스 AG가 과반수를 보유하고 있으며, ASML 홀딩이 24.9%의 소수 지분을 보유하고 있다.[2]

이 단체의 본부는 독일 오버코첸에 위치하고 있으며, 독일 도시 제나, 웨틀라, 로스도르프, 더블린(미국), 피바디(미국), 바르 레브(이스라엘)에 추가 부지가 있다.2021년 9월 현재 7개 사업장의 총 인력은 약 5,200명이다.[3]

역사

1968년에 ZEISS는 회로 프린터에 광학장치를 처음으로 공급했다.[4]약 9년 후 데이비드 만(Later GCA)이 제작한 세계 최초의 현대식 웨이퍼 스테퍼 전임자는 칼 자이스의 광학장치를 장착했다.[5]1983년에 ZEISS의 최초의 석판 광학 장치는 필립스사의 웨이퍼 스테퍼에서 사용되었었습니다.불과 10년이 지나지 않아 ZEISS와 필립스 사가 전략적 제휴를 맺었다.[6]반도체 제조 기술 사업단은 ZEISS가 1994년 설립했다.2001년에는 Carl Zeiss SMT GmbH와 자회사 Carl Zeiss Laser Optics GmbH와 Carl Zeiss SMS GmbH가 그 뒤를 이었다.오베르코첸에 있는 ZEISS의 반도체 제조기술 공장 건설은 같은 해에 시작되어 2006년에 완공되었다.[7]2010년에 반도체 지역은 처음으로 10억 유로가 넘는 매출을 달성했다.[8]2014년 10월부터 자회사 Carl Zeiss Laser Optics와 Carl Zeiss SMS GmbH가 Carl Zeiss SMT GmbH로 합병되었다.

제품 영역

반도체 제조 광학

ZEISS 사업단은 반도체 생산을 위한 광학을 개발하고 생산한다.웨이퍼 스캐너의 핵심을 이루는 석판광학 사업이 핵심이다.투영 광학의 개발 및 제조와 조명 시스템의 개발은 오버코첸 현장에서 이루어지는 반면 대부분의 유형의 조명 시스템의 생산은 웨츨라르에 있다.이 사업단은 석판 광학 외에도 석판 시스템의 광원으로 사용되는 레이저용 광학부품을 비롯한 수많은 다른 광학제품에 특화되어 있다.

포토마스크 시스템스

이 영역은 포토마스크의 결함을 분석·수리하고, 정의된 마스크 특성을 측정·최적화하는 시스템을 개발·제조한다.포토마스크에는 웨이퍼에 빛으로 이미징될 모든 구조물 정보가 담겨 있다.

추가 읽기

Carl Zeiss는 WaferNEWS, 2003년 7월 7일 페이지 4에서 중요 서브시스템의 최고 공급업체임

참조

  1. ^ "Annual Report 2020/21 ZEISS Group" (PDF). Carl Zeiss AG. Retrieved 2022-04-06.
  2. ^ "ZEISS and ASML Strengthen Partnership for Next Generation of EUV Lithography". www.asml.com. Retrieved 2021-05-11.
  3. ^ "Annual Report 2020/21 ZEISS Group" (PDF). Carl Zeiss AG. Retrieved 2022-04-06.
  4. ^ Hennings, K. (1967). "Technologische Probleme der Mikrominiaturisierung (Planartechnik)". technica (in German): 2337–2341.
  5. ^ Rai-Choudhury, Prosenjit (Ed.) (1997). Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Press. p. 83.
  6. ^ Benschop, Jos; Rupp, Wolfgang. "Partnership ASML" (PDF). Archived from the original (PDF) on 2014-02-01. Retrieved 2014-04-04.
  7. ^ Paetrow, Stephan (2011). Birds of a Feather. 20 Years of Reunification at Carl Zeiss. Hanseatischer Merkur, Hamburg. p. 111.
  8. ^ "Facts & Figures". Carl Zeiss SMT GmbH. Retrieved 2014-07-14.

외부 링크