전극 어레이
Electrode array전극 어레이는 전류 또는 전압 측정에 사용되는 전극의 구성입니다.일부 전극 어레이는 전류 또는 전압의 자극적인 패턴을 제공하기 위해 양방향으로 작동할 수 있습니다.
일반적인 어레이는 다음과 같습니다.
- 슐럼버거(웨너)
- 웨너 알파
- 웨너 베타
- 웨너 감마
- 극극
- 다이폴 다이폴
- 극 다이폴
- 적도 쌍극자 쌍극자
저항률
벌크 재료의 저항률 측정은 전극 어레이의 빈번한 응용입니다.이 그림은 가능한 [1]방법 중 하나인 Wenner 어레이를 나타내고 있습니다.전위 측정에 사용되는 전극과 다른 전극을 통해 전류를 주입하면 주입 회로 저항, 특히 프로브와 표면 사이의 접촉 저항으로 인한 부정확성을 제거할 수 있습니다.재료가 균질하다고 가정하면 Wenner 어레이의 저항률은 다음과 같습니다.
서 a는 프로브 사이의 거리입니다.
전극 어레이는 지구물리학 [2]분야에서 저항률을 측정하기 위해 널리 사용됩니다.반도체 산업에서도 실리콘 웨이퍼의 부피 저항률을 측정하는 데 사용되며, 이는 웨이퍼에 도포된 도핑의 척도로 간주될 수 있습니다.[3]
「 」를 참조해 주세요.
레퍼런스
- Karl Lark-Horovitz, Vivian Annabel Johnson, 실험 물리학 방법: 솔리드 스테이트 물리학, 학술 출판사, 1959 ISBN0-12-475946-7.
- Loke, M.H. (2004). Tutorial: 2-D and 3-D electrical imaging surveys (PDF). Retrieved 2007-06-11.
- John Milsom, Field Geophysics, John Wiley and Sons, 2003 ISBN 0-470-84347-0.