진동격리

진동 격리는 장비 조각과 같은 물체를 진동의 근원으로부터 격리시키는 과정이다.

진동은 주로 설계된 시스템과 거주 가능한 공간 등 많은 영역에서 바람직하지 않으며 그러한 시스템으로 진동이 전달되지 않도록 하는 방법이 개발되었다. 기계파를 통해 전파되는 진동과 특정한 기계적인 연결은 다른 것보다 더 효율적으로 진동을 전도한다. 수동 진동 격리는 이러한 기계적 파동을 흡수하고 축축하게 하는 재료와 기계적 연결을 사용한다. 능동 진동 격리는 들어오는 진동을 상쇄하는 파괴적 간섭을 생성하는 센서와 액추에이터를 포함한다.

수동 격리

"수동진동격리"는 전력, 센서, 액추에이터, 제어 시스템을 사용하는 "능동 진동격리" 또는 "전자력 제거"와는 반대로 고무 패드 또는 기계 스프링과 같은 수동적 기법에 의한 진동격리 또는 진동의 완화를 말한다.

수동 진동 격리는 다양한 용도에 사용되는 많은 유형의 수동 진동 격리가 있기 때문에 광범위한 대상이다. 이러한 응용 프로그램 중 몇 가지는 펌프, 모터, HVAC 시스템 또는 세탁기와 같은 산업 장비, 지진으로부터 토목 구조물의 격리(기층 격리),^[1] 민감한 실험실 장비, 귀중한 자료 및 고급 오디오에 사용된다.

수동 격리가 작동하는 방식에 대한 기본적인 이해, 보다 일반적인 유형의 수동 절연체 및 수동 절연체 선택에 영향을 미치는 주요 요인:

공통 패시브 격리 시스템

공압 또는 공기 아이솔레이터

이것들은 블래더나 압축공기의 통이다. 그것들을 유지하려면 압축공기의 공급원이 필요하다. 에어 스프링은 댐핑은 물론 격리를 제공하는 고무 블래더로 대형 트럭에 사용된다. 일부 공압 아이솔레이터는 낮은 공진 주파수를 얻을 수 있으며 대형 산업 장비 절연에 사용된다. 에어 테이블은 에어 레그에 장착된 작동 표면 또는 광학 표면으로 구성된다. 이러한 표는 일부 조건 하에서 실험실 계측기에 충분한 격리를 제공한다. 공기 시스템은 진공 상태에서 누출될 수 있다. 공기 용기는 저폭 진동의 격리를 방해할 수 있다.

기계식 스프링 및 스프링 댐퍼

이것들은 시스템이나 산업체 건설에 사용되는 강력한 절연체들이다. 때로는 콘크리트 블록의 마운트 역할을 하기도 하는데, 이는 추가적인 격리를 제공한다.

엘라스토머, 고무, 코르크, 조밀 폼 및 라미네이트 재료와 같은 유연한 재료의 패드 또는 시트.

엘라스토머 패드, 밀도 높은 폐쇄형 셀 폼 및 라미네이트 재료는 중장비, 일반 가정용품, 차량, 심지어 고성능 오디오 시스템에서도 종종 사용된다.^{[citation needed]}

금형 및 접합 고무 및 탄성계 아이솔레이터 및 마운트

이것들은 종종 기계(엔진 등)^[2] 마운트나 차량으로 사용된다. 그들은 충격을 흡수하고 약간의 진동을 감쇠시킨다.

부강성 아이솔레이터

부강성 아이솔레이터는 다른 종류에 비해 흔하지 않으며, 일반적으로 중력파 탐지와 같은 높은 수준의 연구 용도를 위해 개발되었다. 리, 고베르도프스키, 템니코프(2007)는 차량 좌석 격리를 위한 네거티브-스티프스 시스템을 제안했다.

음의 강도 아이솔레이터에 초점을 맞춘 것은 매우 낮은 공명 주파수(1Hz 미만)를 가진 시스템을 개발하여 낮은 주파수를 적절히 격리할 수 있도록 하는데, 민감한 계측기에 매우 중요하다. 고주파도 모두 격리된다. 음극성 시스템은 저압도 진동을 차단하는 데 효과적이도록 저압력 시스템을 만들 수 있다.

부강성 메커니즘은 순수하게 기계적이며 일반적으로 빔 또는 역진자와 같은 구성 요소의 구성과 하중을 수반한다. 운전가능성의 범위 내에서 음의 긴장성 메커니즘의 부하가 크면 자연 주파수가 감소한다.

와이어 로프 아이솔레이터

이 절연체는 내구성이 뛰어나고 극한 환경에서도 견딜 수 있다. 그것들은 종종 군사적인 용도에 사용된다.^[3][4]

건물, 교량 등의 내진 격리를 위한 베이스 아이솔레이터

네오프렌과 수평강성이 낮은 강철 층으로 이루어진 베이스 아이솔레이터를 사용하여 건물의 고유 주파수를 낮춘다. 일부 다른 베이스 아이솔레이터는 지면에서 건물로 에너지가 전달되지 않도록 미끄러지도록 설계되어 있다.

튜닝된 매스 댐퍼

튜닝된 질량 댐퍼는 건물이나 다른 구조물의 조화 진동 효과를 감소시킨다. 비교적 작은 질량이 구조물의 매우 좁은 진동 띠를 축축하게 할 수 있는 방식으로 부착되어 있다.

직접 실행 아이솔레이터

덜 정교한 솔루션에서 번지 코드는 일부 애플리케이션에 충분히 효과적일 수 있는 값싼 격리 시스템으로 사용될 수 있다. 고립될 아이템은 번지 코드에 매달려 있다. 이것은 고립된 품목이 떨어질 위험 없이 실행하기 어렵다. 반으로 잘린 테니스공은 세탁기와 다른 물품들 밑에서 사용되었고 어느 정도 성공적이었다. 사실, 테니스 공은 각 레코드 턴테이블의 발 아래에 놓여져 있는 DIY 레이브/DJ 문화에서 사용되는 사실상의 표준 서스펜션 기법이 되었고, 이는 턴테이블 바늘의 섬세하고 고감도 메카니즘에 영향을 미치는 고출력 음향 시스템의 진동을 중화시킬 수 있을 만큼 충분히 감쇠시킨다.^[5]

수동 격리가 작동하는 방식

일반적으로 쇼크 마운트와 같은 패시브 격리 시스템은 질량, 스프링 및 댐핑 요소를 포함하며 고조파 오실레이터로 이동한다. 질량 및 스프링 강성은 시스템의 고유 주파수를 지시한다. 댐핑은 에너지 소산을 유발하고 자연 주파수에 2차적인 영향을 미친다.

유연한 지지대에 있는 모든 물체는 기본적인 자연 주파수를 가지고 있다. 진동이 가해지면 에너지는 자연주파수에서 가장 효율적으로 전달되며, 자연주파수보다 다소 효율적으로, 비효율성(효율성 저하)이 높아진다. 이것은 투과율 대 주파수의 플롯인 투과율 곡선에서 볼 수 있다.

여기 투과성 곡선의 예가 있다. 투과율은 고립된 표면의 진동과 선원의 진동 비율이다. 진동은 결코 완전히 제거되지 않지만 크게 감소할 수 있다. 아래 곡선은 자연 주파수가 0.5Hz인 수동적, 부강력 격리 시스템의 대표적인 성능을 나타낸다. 곡선의 일반적인 형태는 패시브 시스템의 전형이다. 자연 주파수 아래에서는 투과성이 1에 가까워진다. 값이 1이면 진동이 증폭되거나 감소되지 않고 시스템을 통과하는 것을 의미한다. 공명 주파수에서는 에너지가 효율적으로 전달되고, 들어오는 진동이 증폭된다. 시스템의 댐핑은 증폭 레벨을 제한한다. 공명 주파수 이상에서는 에너지가 거의 전달되지 않고 곡선이 낮은 값으로 굴러간다. 수동형 아이솔레이터는 진동을 위한 기계적 저역 통과 필터로 볼 수 있다.

일반적으로 자연 주파수보다 높은 특정 주파수의 경우 자연 주파수가 더 낮은 아이솔레이터는 자연 주파수가 더 높은 아이솔레이터보다 더 큰 절연을 보일 것이다. 주어진 상황에 대한 최선의 격리 시스템은 존재하는 진동의 주파수, 방향 및 크기와 그러한 주파수의 원하는 감쇠 수준에 따라 달라진다.

실제 세계의 모든 기계 시스템에는 어느 정도의 댐핑이 포함되어 있다. 댐핑은 시스템의 에너지를 분산시켜 자연 주파수에서 전달되는 진동 레벨을 감소시킨다. 차량용 쇼크 업소버의 오일은 일종의 댐퍼로, 탄성(러버) 엔진 마운트의 고유 댐핑도 마찬가지다.

댐핑은 자연 주파수에서 증폭되는 양을 줄이기 위해 패시브 아이솔레이터에 사용된다. 그러나 댐핑을 증가시키면 높은 주파수에서의 격리가 감소하는 경향이 있다. 댐핑이 증가하면 투과력 롤오프가 감소한다. 이는 아래 차트에서 확인할 수 있다.

수동 격리는 양방향으로 작동하여 지지대에서 발생하는 진동으로부터 페이로드와 분리되며, 또한 페이로드에서 발생하는 진동으로부터 지지대를 분리한다. 건물이나 실내에 진동을 일으킬 수 있는 세탁기, 펌프, 발전기 등의 대형 기계는 바닥에서 분리되는 경우가 많다. 그러나 건물에는 수많은 진동원이 존재하며, 각 진동을 분리하는 것이 불가능한 경우가 많다. 민감한 각 기구를 바닥에서 분리하는 것이 가장 효율적인 경우가 많다. 때때로 두 가지 접근법을 모두 실행할 필요가 있다.

슈퍼야흐트에서 엔진과 교류 발전기는 소음과 진동을 발생시킨다. 이를 해결하기 위해 엔진과 교류발전기를 공통 프레임에 진동감쇠기로 장착하는 이중탄력식 서스펜션이 해법이다. 그런 다음 이 세트를 공통 프레임과 선체 사이에 탄성적으로 장착한다.^[6]

패시브 진동 아이솔레이터 선택에 영향을 미치는 요인

1. 분리할 품목의 특성
   • 크기: 분리할 항목의 치수는 사용 가능하고 적절한 격리 유형을 결정하는 데 도움이 된다. 작은 물체는 하나의 아이솔레이터만 사용할 수 있는 반면, 큰 물체는 다중 아이솔레이터 시스템을 사용할 수 있다.
   • 무게: 격리할 물체의 무게는 올바른 수동 격리 제품을 선택하는데 중요한 요소다. 개별 패시브 아이솔레이터는 특정한 하중 범위와 함께 사용하도록 설계된다.
   • 이동: 움직이는 부품이 있는 기계 또는 기기는 격리 시스템에 영향을 미칠 수 있다. 이동 부품의 질량, 속도, 이동 거리를 아는 것이 중요하다.
2. 운영 환경
   • 산업: 이것은 일반적으로 넓은 주파수 대역과 약간의 먼지에 강한 진동을 수반한다.
   • 실험실: 실험실은 인접한 기계류, 발길질 또는 HVAC 기류에서 발생하는 특정 건물 진동으로 인해 때때로 문제를 겪는다.
   • 실내 또는 실외: 아이솔레이터는 일반적으로 한 환경 또는 다른 환경을 위해 설계된다.
   • 부식성/비부식성: 일부 실내 환경은 부식성 화학물질의 존재로 인해 절연체 구성 요소에 부식 위험을 초래할 수 있다. 옥외, 물과 소금 환경을 고려해야 한다.
   • 클린룸: 일부 아이솔레이터는 클린룸에 적합하게 만들어질 수 있다.
   • 온도: 일반적으로 아이솔레이터는 인간 환경의 정상적인 온도 범위에서 사용하도록 설계된다. 더 큰 온도 범위가 필요한 경우 아이솔레이터 설계를 수정해야 할 수 있다.
   • 진공: 일부 아이솔레이터는 진공 환경에서 사용할 수 있다. 공기 아이솔레이터는 누출 문제가 있을 수 있다. 진공 요구사항은 일반적으로 청정실 요구사항의 일부 수준을 포함하며 온도범위가 클 수도 있다.
   • 자기: 진동 격리가 필요한 일부 실험은 또한 저자기 환경을 필요로 한다. 일부 아이솔레이터는 낮은 자기성분으로 설계될 수 있다.
   • 음향 소음: 어떤 기구는 음향 진동에 민감하다. 또한 일부 격리 시스템은 음향 소음에 의해 흥분될 수 있다. 음향 차폐를 사용해야 할 수도 있다. 공기 압축기는 문제가 있는 음향 소음, 열 및 공기 흐름을 발생시킬 수 있다.
   • 정적 또는 동적 부하: 아이솔레이터는 특정 하중 유형과 수준을 위해 설계되기 때문에 이러한 구별은 상당히 중요하다.
   • ; 정적 하중

     기본적으로 저소음 진동 입력을 가진 격리된 물체의 중량이다. 이것은 (정상 조건 하에서) 건물이나 실험실 기구와 같이 겉으로 보기에 정지해 있는 물체의 환경이다.

   • ; 동적 재하중

     가속 및 더 큰 진폭 충격과 진동을 포함한다. 이러한 환경은 차량, 중장비, 그리고 움직임이 큰 구조물 등에 존재한다.

3. 비용:
   • 격리 제공 비용: 비용에는 격리 시스템 자체, 표준 제품인지 맞춤형 제품인지 여부, 필요한 경우 압축 공기 공급원, 제조업체에서 목적지로 운송, 설치, 유지보수, 격리 필요성을 판단하기 위한 초기 진동 현장 조사가 포함된다.
   • 서로 다른 격리 시스템의 상대적 비용: 동적인 부하 주기 때문에 저렴한 쇼크 마운트를 교체해야 할 수 있다. 낮은 진동 주파수와 크기에 효과적인 높은 수준의 절연에는 일반적으로 비용이 더 많이 든다. 가격은 번지 코드의 경우 몇 달러에서 몇 백만 달러까지 다양하다.
4. 조정: 일부 격리 시스템은 중량 하중, 중량 분포, 온도 및 공기압의 변화를 보상하기 위해 수동 조정이 필요한 반면, 다른 시스템은 이러한 요인의 일부 또는 전부를 자동으로 보상하도록 설계되어 있다.
5. 유지 관리: 일부 격리 시스템은 내구성이 뛰어나고 유지보수가 거의 또는 전혀 필요하지 않다. 다른 것들은 부품의 기계적 피로나 재료의 노화로 인해 주기적인 교체가 필요할 수 있다.
6. 크기 제약 조건: 격리 시스템은 실험실이나 진공 챔버의 제한된 공간 또는 기계 하우징 안에 들어가야 할 수 있다.
7. 격리 또는 완화해야 하는 진동의 특성
   • 주파수: 가능하면 주변 진동의 주파수를 아는 것이 중요하다. 이는 FFT 분석을 통해 처리된 현장 조사 또는 가속도계 데이터로 결정할 수 있다.
   • 진폭: 존재하는 진동 주파수의 진폭을 필요한 수준과 비교하여 격리가 필요한지 여부를 판단할 수 있다. 또한 아이솔레이터는 진동 진폭 범위에 맞게 설계된다. 일부 아이솔레이터는 매우 작은 진폭에 효과적이지 않다.
   • 방향: 진동이 수평인지 수직인지 알면 필요한 곳에서의 고립을 목표로 하고 비용을 절약하는 데 도움이 될 수 있다.
8. 분리할 품목의 진동 사양: 많은 기기나 기계는 작동 환경에 대해 제조자가 지정한 진동 수준을 가지고 있다. 제조업체는 진동이 규격을 초과하는 경우 계측기의 적절한 작동을 보장하지 않을 수 있다.
9. ASHRAE(American Society of Heating, 냉난방 및 냉방 엔지니어)와 비스코스마(VISCMA)와 같은 비영리 단체들은 전기, 나를 포함한 다양한 산업을 포괄하는 아이솔레이터 유형과 스프링 편향 요건에 대한 규격/표준을 제공한다.채니컬, 배관, 그리고 HVAC.

수동형 아이솔레이터의 비교

^{[필요하다]}

수동 격리 유형	적용들	일반적인 자연 주파수
에어 아이솔레이터	대형 산업 장비, 일부 광학 및 기기	1.5 – 3 Hz, 0.5 Hz에 맞게 커스터마이징
스프링 또는 스프링 댐퍼	무거운 부하, 펌프, 압축기	3 – 9 Hz
탄성체 또는 코르크 패드	중-고주파 노이즈 및 진동을 분리해야 하는 대규모 고부하 애플리케이션	패드 크기 및 부하에 따라 3 – 40Hz
성형 또는 접합된 엘라스토머 마운트	기계, 기구, 차량, 항공	10 - 20 이상 Hz
부강성 아이솔레이터	전자 현미경, 민감한 기기, 광학 및 레이저 시스템, 극저온 시스템	0.17 - 2.5Hz
와이어 로프 아이솔레이터	기계, 기구, 차량, 항공	10 - 40 이상 Hz
번지 코드 아이솔레이터	실험실, 집 등	코드 유형 및 코드 유형이 지원하는 질량에 따라 다름
베이스 아이솔레이터	건물 및 대형 구조물	저주파, 지진 주파수
튜닝된 매스 댐퍼	건물, 대형 구조물, 항공우주	임의의, 그러나 일반적으로 낮은 주파수에서 사용됨

부강성 진동 아이솔레이터

NSM(Negative Stiffness-Mechanism) 진동 격리 시스템은 저진동 환경과 서브헤르츠 진동에 대한 격리를 달성하기 위한 고유한 수동적 접근방식을 제공한다. "스냅스루(Snap-through)" 또는 "중간" NSM 장치는 탄성 서스펜션이 강성을 감소시키고 자연 주파수가 낮은 소형 6도 자유도 시스템을 만드는 데 사용된다. 수직 및 수평 자연 주파수가 0.2~0.5Hz인 실용적인 시스템이 가능하다. 전자 기계식 자동 조정 메커니즘은 다양한 중량 부하를 보상하고 공압 시스템의 레벨링 밸브 기능과 유사하게 다중 이졸레이터 시스템에서 자동 레벨링을 제공한다. 고진공 및 고온과 같은 기타 불리한 환경과 호환되는 올메탈 시스템을 구성할 수 있다.

이러한 격리 시스템은 탐침 현미경 스캐닝, 미세경도 테스터, 전자현미경 스캐닝과 같은 진동 민감 기구를 예를 들어 건물 상층이나 클린룸에서 가끔 마주치는 심각한 진동 환경에서 작동할 수 있게 한다. 이러한 작동은 공압 격리 시스템에서는 실용적이지 않을 것이다.^{[citation needed]} 마찬가지로 진동에 민감한 기기는 공압 아이솔레이터로 달성할 수 있는 것보다 더 나은 영상과 데이터를 생성할 수 있다.^{[citation needed]}

NSM 진동격리계통의 운전이론을 요약하고, 대표적인 시스템과 용도를 기술하며, 측정된 성능에 관한 데이터를 제시한다. NSM 격리 시스템의 이론은 참조문서 1과 2에 설명되어 있다.^{[clarification needed]} 그것은 편의를 위해 간단히 요약되어 있다.

수직-이동 분리

수직 모션 아이솔레이터가 표시된다. 그것은 중앙에 경첩된 두 개의 막대로 구성된 NSM에 연결된 재래식 스프링을 사용하고, 피벗의 바깥쪽 끝에서 지지하며, 힘 P에 의해 압축으로 적재된다. 스프링은 그림 1과 같이 무게 W에 의해 절연체의 작동 위치로 압축된다. 절연체의 강성은 K=KS-KN이며, 여기서 KS는 스프링강성, KN은 막대의 길이와 하중P의 함수인 부강성의 크기다. 스프링이 W 중량을 지탱하는 동안 절연체 강성은 0에 근접하도록 만들 수 있다.

수평-동작 격리

두 개의 빔-콜럼으로 구성된 수평-모션 아이솔레이터는 그림 2. 각 빔-기둥은 무게 하중 W에 의해 축방향으로 적재된 두 개의 고정 프리 빔 기둥처럼 작동한다. 중량 하중 없이 빔-콜룸은 수평 강성 KS를 가진다. 중량 하중과 함께 측면 벤딩 강성은 "빔-기둥" 효과에 의해 감소된다. 이 동작은 수평 강성이 K${\displaystyle }$= ${\displaystyle K_{}}$ $S{\displaystyle {}_{}}$- ${\displaystyle K_{}}$ N ${\$${\displaystyle {KN}_{}}$ ${\$가 빔-기둥 효과의 크기라고$$ 할 수 있도록 NSM과 결합된 수평 스프링과 동등하다. 수평 강성은 임계 좌굴 하중에 접근하기 위해 빔 컬럼을 적재하여 0에 근접하도록 할 수 있다.

6도 자유도(6도) 격리

6-DOF NSM 아이솔레이터는 일반적으로 세 개의 아이솔레이터를 직렬로 쌓아서 사용한다. 즉, 수직 모션 아이솔레이터 상단에 있는 수평 모션 아이솔레이터 위에 틸트 모션 아이솔레이터. 그림 3은 그림 1과 2의 아이솔레이터를 포함하는 단일 6-DOF 아이솔레이터에 의해 지원되는 가중 플랫폼으로 구성된 진동 격리 시스템의 개략도를 보여준다. 굴곡은 그림 1에 나타낸 힌지 바 대신에 사용된다. 틸트 굴곡기는 틸트-모션 아이솔레이터 역할을 한다. 수직-강성 조정 나사는 음-강성 굴곡에 대한 압축력을 조정하여 수직 강성을 변화시키는 데 사용된다. 수직 부하 조정 나사는 지지 스프링의 베이스를 올리거나 낮춰 굴곡이 직선적이고 구부러지지 않는 작동 위치로 유지되도록 함으로써 다양한 중량 부하에 대해 조절하는 데 사용된다.

지지 이음부의 진동 격리

장비 또는 기타 기계적 구성부품은 반드시 주변 물체(서포트 조인트 - 서포트 조인트, 지지되지 않는 조인트 - 파이프 덕트 또는 케이블)에 연결되므로 원치 않는 진동 전달의 기회를 제공한다. 적절히 설계된 진동 절연체(흡수기)를 사용하여 지지 이음부의 진동 격리가 실현된다. 첨부된 그림에는 다양한 주파수 범위에서 진동 아이솔레이터에 기능하는 기어를 설치하기 전 및 설치 후 측정한 진동 수준의 감쇠가 표시된다.

진동 아이솔레이터

이는 작동 중인 기계나 전기 장비에서 확장되는 진동 에너지 파동을 반사 및 흡수하는 장치로 정의되며, 원하는 효과는 진동 단열이다. 기계적 변동을 전달하는 차체와 지지체(예: 기계와 기초 사이) 사이에 진동격리를 확립하는 것이 목표다. 그림에는 러시아의 조선업에서 사용되는 вв»» »(~"VI") 시리즈로부터의 진동 격리기(예: 잠수함 "St")가 표시된다.페테르부르크" (라다) 그림에 표시된 и» » 기기는 5, 40 및 300 kg의 하중을 허용한다. 그들은 신체 크기는 다르지만, 모두 같은 기본 설계를 공유한다. 구조물은 내부에 스프링으로 보강된 고무로 된 외피로 되어 있다. 제조 중, 조잡한 고무 재료의 처리에 필수적인 경화 공정의 결과로 고무와 스프링은 친밀하고 영구적으로 연결된다. 기계의 중량 하중 작용으로 고무 봉투가 변형되고 스프링이 압축 또는 늘어나게 된다. 따라서 봄의 단면 방향에서 포락고무의 꼬임이 발생한다. 고무 외피의 탄성 변형은 진동의 매우 효과적인 흡수를 초래한다. 이 흡수는 공진 효과의 잠재성을 회피하기 때문에 신뢰할 수 있는 진동 절연에 중요하다. 고무의 탄성 변형량은 주로 달성할 수 있는 진동 흡수 크기를 지시한다. 전체 장치(스프링 자체 포함)는 이를 염두에 두고 설계되어야 한다. 진동 아이솔레이터의 설계는 일상적인 진동 외에도 충격 하중에 대한 잠재적 노출도 고려해야 한다. 마지막으로, 진동 아이솔레이터는 또한 사용할 환경으로의 편리한 통합뿐만 아니라 장기 내구성을 위해 설계되어야 한다. 슬리브와 플랜지는 일반적으로 진동 아이솔레이터가 장비와 지지 기초에 안전하게 고정될 수 있도록 하기 위해 사용된다.

지지되지 않는 조인트의 진동 격리

지지되지 않는 이음부의 진동 격리는 분기 파이프 a라는 장치에서 진동을 차단하는 것으로 구현된다.

진동을 차단하는 분기 파이프 a

진동 격리의 분기 파이프 a는 작동 펌프에서 배관 덕트의 벽 위로 확장되는 진동 에너지의 파동을 반사 및 흡수하기 위한 탄성 벽을 가진 튜브의 부분이다. 펌프와 파이프 덕트 사이에 설치된다. 그림에는 영상 시리즈 ив의 진동 격리 분기 파이프가 제시되어 있다. иппб » 구조에는 고무로 된 외피가 사용되는데, 이것은 스프링에 의해 강화된다. 봉투의 성질은 아이솔레이터 진동과 유사한 봉투다. 내부 압력 작용에서 최대 0까지 축력을 감소시키는 장치

서브프레임 격리

격리를 증가시키기 위해 사용되는 또 다른 기법은 격리된 서브프레임을 사용하는 것이다. 이는 추가적인 질량/스프링/댐퍼 시스템으로 시스템을 분할한다. 이는 저주파 거동을 악화시킬 수 있는 추가 저주파 모드를 도입하는 비용으로 고주파 감쇠 롤오프를 두 배로 증가시킨다. 이는 일반적으로 독립형 리어 서스펜션(IRS)이 장착된 차량의 리어 서스펜션과 일부 차량의 프론트 서브프레임에서 사용된다. 그래프(그림 참조)는 준수 장착 서브프레임을 나타내는 빨간색 곡선과 비교하여 차체에 단단하게 볼트로 고정된 서브프레임에 대한 차체의 힘을 나타낸다. 42Hz 이상에서는 준수 장착 서브프레임이 우수하지만, 그 주파수 이하에서는 서브프레임에 볼트로 고정된 서브프레임이 더 좋다.

반능동격리

반능동 진동 아이솔레이터는 능동형 장치보다 전력 소모량이 적고 수동형 시스템보다 제어성이 뛰어나 주목을 받았다.

능동격리

능동 진동 격리 시스템에는 스프링과 함께 센서(예: 압전 가속도계 또는 지오폰), 제어기 및 작동기로 구성된 피드백 회로가 포함된다. 가속(진동) 신호는 컨트롤 회로와 앰프에 의해 처리된다. 그런 다음 전자파 작동기에 전원을 공급하여 신호를 증폭시킨다. 그러한 피드백 시스템의 결과, 일반적인 댐핑에 비해 상당히 강한 진동 억제가 달성된다. 오늘날 능동 절연은 마이크로미터보다 작은 구조물을 생산하거나 측정해야 하는 용도에 사용된다. 몇 개의 회사가 연구, 계량학, 석판학, 의료 시스템을 위한 OEM으로 활발한 격리 제품을 생산한다. 또 다른 중요한 적용 분야는 반도체 산업이다. 마이크로칩 생산에서 오늘날 가장 작은 구조물은 크기 미만이기 때문에 이를 생산하고 확인하는 기계는 훨씬 덜 진동해야 한다.

능동 격리를 위한 센서

• 압전 가속도계 및 힘 센서
• MEM 가속도계
• 지오폰스
• 근접 센서
• 간섭계

능동 절연을 위한 액추에이터

• 선형 모터
• 공압식 액츄에이터
• 압전 모터

참고 항목

참조

• Platus PhD, David L, SPIE 국제 광공학회 - 1999년 7월, 광학 공학 및 진동 제어 음극-안정성-기계적 진동 격리 시스템
• Harris, C, Piersol, A, Harris Shock and Vibration Handbook, Fifth Edition, McGraw-Hill, (2002) ISBN 0-07-137081-1
• A.Kolesnikov «Noise and Vibration » 러시아 레닌그라드. Public.«ShipBuilding » 1988

외부 링크

• 리토그래피 및 이미징을 위한 능동 진동 격리에 관한 백서
• 조화흥분 수동격리